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          FT-CZ1200Se/1400Se

          8/12英寸半導體單晶爐

          拉晶過程全程自動化

          設備運作效率
          單晶硅棒高收率以及90%以上的整棒生產率
           
          機械部件結構精良
          機械部分均采用高精度數控加工,焊接工藝符合日本JS標準
           
          設備裝置可靠
          具有電源安全保護裝置,爐體水溫報警系統,爐壓異常報警系統
           
          控制系統先進
          全面數字化管理、全自動操作
           
          技術特點
          實現多次裝料的技術,每次裝料可高達50KG,可分為內部裝料和外部裝料,
          極大提高生產效率,并降低生產成本
          采用自行研發的抓取機械手,使得每次開爐后的冷卻時間減少2-3個小時
          磁流體密封技術,保證了籽晶軸的轉動密封
          自行研發設計水冷套,提高生產效率,降低單位能耗
          自行研發設計的取棒車,方便取成品晶棒和運輸
           
          服務完善
          完善的售前服務,整體的生產培訓,技術人員駐廠服務,及時的機械零部件配件,定期回訪客戶,實時的軟件升級更新。

          型號 FT-CZ1200Se
          周圍溫度 15-30攝氏度
          周圍濕度 ≤65%(必須保證沒有結露情況的發生)
          潔凈度 1000級凈空房
          真空度 結晶拉制環境:2.7KPa(20Torr)
          到達真空度 3Pa以下
          泄漏量 0.1Pa/min or 5Pa/hr
          拉制晶棒直徑 8"
          裝料量 MAX 240Kg
          腔內直徑 MIN φ340mm
          熱場規格 MAX 28"
          石英坩堝規格 MAX 28"
          上爐室爐筒高度 可根據客戶要求定制
          籽晶軸行程 約4800mm
          籽晶提升速度(低) 0.08-7.9mm/min
          籽晶提升速度(高) 500mm/min
          籽晶旋轉速度 2-20rmp
          坩堝升降速度(低) 0.03-3mm/min
          坩堝升降速度(高) 200mm/min
          坩堝軸承重 MAX 500kg(可根據客戶要求加大承重量)
          坩堝轉速 0.3-20rmp
          坩堝升降軸行程 700mm
          加熱器升降速度(低) 2mm/min
          加熱器升降速度(高) 100mm/min
          加熱器升降行程 250mm
          磁場升降速度 MAX 400mm/min
          磁場升降行程 1250mm
          磁場重量 10ton以下
          重量 爐主體 20ton以下
          操作箱 80kg
          電氣控制箱 500kg
          加熱器電源箱 1800kg
          電源 定格電壓 三相380V  50/60Hz
          定格電容 320KVA
          定格流量 500A
          設備高度 <9100mm

          全國熱線

          021-36162928

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