8/12英寸半導體單晶爐

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產品

晶體加工設備

晶體長晶爐

FT-CZ1200Se/1400Se

8/12英寸半導體單晶爐

拉晶過程全程自動化

設備運作效率高
單晶硅棒高收率以及90%以上的整棒生產率

機械部件結構精良
機械部分均采用高精度數控加工，焊接工藝符合日本JS標準

設備裝置可靠
具有電源安全保護裝置，爐體水溫報警系統，爐壓異常報警系統

控制系統先進
全面數字化管理、全自動操作

技術特點
實現多次裝料的技術，每次裝料可高達50KG，可分為內部裝料和外部裝料，
極大提高生產效率，并降低生產成本
采用自行研發的抓取機械手，使得每次開爐后的冷卻時間減少2-3個小時
磁流體密封技術，保證了籽晶軸的轉動密封
自行研發設計水冷套，提高生產效率，降低單位能耗
自行研發設計的取棒車，方便取成品晶棒和運輸

服務完善
完善的售前服務，整體的生產培訓，技術人員駐廠服務，及時的機械零部件配件，定期回訪客戶，實時的軟件升級更新。

型號		FT-CZ1200Se
周圍溫度		15-30攝氏度
周圍濕度		≤65%（必須保證沒有結露情況的發生）
潔凈度		1000級凈空房
真空度		結晶拉制環境：2.7KPa（20Torr）
到達真空度		3Pa以下
泄漏量		0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直徑		8"
裝料量		MAX 240Kg
腔內直徑		MIN φ340mm
熱場規格		MAX 28"
石英坩堝規格		MAX 28"
上爐室爐筒高度		可根據客戶要求定制
籽晶軸行程		約4800mm
籽晶提升速度（低）		0.08-7.9mm/min
籽晶提升速度（高）		500mm/min
籽晶旋轉速度		2-20rmp
坩堝升降速度（低）		0.03-3mm/min
坩堝升降速度（高）		200mm/min
坩堝軸承重		MAX 500kg（可根據客戶要求加大承重量）
坩堝轉速		0.3-20rmp
坩堝升降軸行程		700mm
加熱器升降速度（低）		2mm/min
加熱器升降速度（高）		100mm/min
加熱器升降行程		250mm
磁場升降速度		MAX 400mm/min
磁場升降行程		1250mm
磁場重量		10ton以下
重量	爐主體	20ton以下
	操作箱	80kg
	電氣控制箱	500kg
	加熱器電源箱	1800kg
電源	定格電壓	三相380V 50/60Hz
	定格電容	320KVA
	定格流量	500A
設備高度		＜9100mm